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                  防靜電吸盤與靜電吸盤的區別

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                          防靜電吸盤廣泛應用于真空冶煉、真空干燥、化工、制藥、輕工和電真空工業及其它領域,靜電吸盤由于存在靜電,吸附力更緊。

                    靜電吸盤有以下特征

                  靜電吸盤

                    1??快o電荷的同性相吸來固定硅片,吸力更大。

                    2。靜電吸盤與晶片接觸的表面有一層電介質。以前的吸盤用的電介質多為有機材料或陽極氧化層,現在已普遍采用陶瓷使用。

                    3。靜電吸盤的電介質層中鑲嵌著一個直流電極,用以接通到高壓(低流)直流電源。

                    4。在靜電吸盤中,除了直流電極外,還有射頻電極。此外,吸盤中也需要冷卻液的循環渠道和氦氣的氣道。其設計還是需要特別小心細致的。而且,它的設計受到別的方面的制約,如體積不能過大,否則會堵塞或降低反應腔的排氣速度


                           由于部分化工制藥行業不適宜使用靜電吸盤,因此推薦防靜電吸盤

                  防靜電吸盤

                  防靜電吸盤優點是使用絕緣材料,不會產生靜電,不必擔心因靜電引發的火花等隱患。防靜電吸盤與靜電吸盤區別就介紹到這里。

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